富加镓业万片级氧化镓衬底产线通过环保验收

新年伊始，喜迎开门红。杭州光机所孵育企业杭州富加镓业科技有限公司（简称“富加镓业”）的 “年产10000片大尺寸高质量氧化镓单晶衬底项目”已于2026年1月正式完成竣工环境保护验收。这标志着富加镓业万片6/8寸产线已完全具备规模化生产的环保许可，在国际处于领先地位，为我国氧化镓产业化按下“加速键”。

▲CCTV-2 经济信息联播报道

富加镓业作为氧化镓产业化的领军企业，从6英寸氧化镓晶体研制成功，到8英寸VB法氧化镓晶体的国际首发，再到如今万片级产线的建设，富加镓业正一步一个脚印，将技术优势转化为市场胜势。

·外延生长

2025年3月，富加镓业在氧化镓MOCVD同质外延薄膜研发方面取得重要技术突破（点击查看相关报道），在氧化镓单晶衬底上同质外延出厚度超过10微米的薄膜，经国家权威检测机构验证，该技术已达到国际领先水平，为新能源汽车高压平台、智能电网柔性输电装置等高端装备提供关键材料支撑。

·单晶制备

在核心的晶体生长环节，富加镓业于2025年9月宣布，采用垂直布里奇曼法（VB法）成功制备出高质量的6英寸氧化镓单晶（点击查看相关报道）。相较于传统的导模法（EFG），VB法在降低晶体位错密度方面具有显著优势，且设备成本更低，其制备的晶体等径高度已超过30mm。同年12月，中国科学院上海光机所联合杭州富加镓业，在国际上首次采用垂直布里奇曼法制备出8英寸氧化镓晶体，刷新国际VB法氧化镓晶体尺寸纪录。此次成果标志着氧化镓晶体在尺寸与制备工艺上的持续突破，为高压功率器件和大规模产业化应用奠定了基础。

▲富加镓业在国际上首次采用垂直布里奇曼法（VB法）制备出8英寸氧化镓晶体

·重磅融资

2025年9月富加镓业成功完成近亿元融资（点击查看相关报道），融资将主要用于建设国内首条6英寸氧化镓单晶及外延片生产线，填补国内氧化镓材料规模化供应的空白，为产业链自主可控提供关键支撑。同时，资金也将用于氧化镓单晶制备效率提升、外延质量优化、器件验证等，为后续产品迭代与技术升级奠定坚实基础。

·器件应用

2025年10月，基于富加镓业提供的高质量MOCVD厚膜外延片，福州大学团队成功制备出高性能氧化镓垂直型功率肖特基二极管（点击查看相关报道），在公开发表的基于MOCVD外延制备的功率肖特基二极管中，PFOM性能国际最优（3.07 GW/cm2）；从产业应用角度，在公开发表的基于MOCVD和HVPE外延制备的氧化镓功率肖特基二极管中，导通电压与耐压的综合性能最优。

新的一年，富加镓业将依托强大技术优势及产能保障，加速6/8英寸氧化镓产品的市场推广，为全球客户提供更具性价比的氧化镓解决方案。

作为“最懂”科学家的科技创业孵化器，杭州光机所将依托在科技成果转化与产业孵化方面的优势，持续赋能富加镓业等硬科技企业，聚焦氧化镓等战略前沿材料的核心技术攻关，推动“基础研究—技术攻关—产业化”全链条贯通，构建开放协同的创新生态集群，让更多“从0到1”的原创性成果走向市场，为实现高水平科技自立自强贡献力量。

产品介绍

氧化镓设备：

公司研制了国际上首台具备“一键长晶”功能的EFG设备，可以满足2-6英寸晶体生长需求，目前获得国内授权专利6项，国际授权专利4项，可提供设备及配套工艺包。公司自行研制了全自动 VB 晶体生长设备，并在国内率先突破了6英寸单晶生长技术瓶颈，实现了大尺寸 VB 法单晶制备。目前获得国内授权专利6项，国际授权专利4项，可根据客户需求提供VB设备及工艺包。

氧化镓单晶衬底：

作为中国最早投身氧化镓单晶生长研究的先行者与业界领先的供应商，我们致力于为全球客户提供卓越的氧化镓单晶衬底。我们的产品线覆盖2-6英寸26种常规性氧化镓衬底产品，并能够提供尺寸，电学性能与晶向的定制化方案，满足高质量外延片研发及批量制备需求。

氧化镓外延片：

基于成熟的 MOCVD（金属有机化学气相沉积）与 MBE（分子束外延）技术平台，我们的产品线覆盖 2-6 英寸等15种常规性氧化镓外延片产品，及定制化 MBE 氧化镓外延片产品，为客户提供 “衬底-外延”一体化解决方案。外延层生长过程采用精准的工艺控制体系，可根据客户需求定制外延层厚度、掺杂浓度、组分均匀性等关键参数，能够满足不同功率等级、不同功能类型的器件研发与生产需求。

企业简介

杭州富加镓业科技有限公司

公司成立于2019年12月31日，公司以“让世界用上好材料”为愿景，开展超宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作，核心产品为氧化镓单晶衬底、MOCVD/MBE 外延片、布里奇曼法（VB法）及导模法(EFG法)晶体生长装备等，为材料研制提供系统性解决方案，加速超宽禁带氧化镓产业全链路贯通，推进氧化镓材料在功率器件、微波射频器件及光电探测等领域应用。公司在氧化镓领域发展方面取得的系列重要成果已获CCTV1、CCTV2、《人民日报》、新华网、《中国证券报》、澎湃新闻等知名媒体专题宣传报道。企业荣誉汇总： 2022年获得浙江省科技型中小企业；2023年获得国家高新技术企业；2024年获得杭州市企业高新技术研发中心及浙江省专精特新中小企业；2025年获得 ISO9001质量体系认证（编号：20225Q20294R0M）；2024年度杭州市“新雏鹰”企业；在氧化镓领域，正牵头起草氧化镓领域首个国家标准，并承担了国家发改委项目1项，国家工信部项目1项，参与了国家自然科学基金委、浙江省、上海市等国家及省部级项目3项。另外，获得国际专利授权14项（美国 6 项，日本7项，欧洲1项），国内专利授权42项，“富加镓业”商标认证注册3项，软件著作权（“一键长晶”控制软件）5项。